國產替代傳重大進展 陸官方購上海微電子曝光機

　在被西方國家制裁、加速「國產替代」背景下，大陸科技部25日公告將斥資約人民幣（下同）1.1億元，購買1台由本土半導體製造設備企業上海微電子所生產的步進掃描式光刻機（台灣稱曝光機），引發市場關注。分析指出，科技部以該金額購買半導體製造設備，相較過去有明顯成長，或意味大陸在曝光機領域已獲得突破性進展。

　21世紀經濟25日報導，上海微電子隸屬上海電氣集團，為大陸半導體裝備領域的核心企業，尤其在高階曝光機的研發與製造方面處於國內領先地位。

　本次中國政府採購網公告中的幾個關鍵訊息，引起市場關注。首先是本次貨物型號為「SSC800/10」，其中「SSC」為首次公開的曝光機型號代號。代號中，「SS」或代表「步進掃描式」，為當前主流精密製程的半導體極紫外光（EUV）、深紫外光（DUV）曝光機的機械工作方案。目前上海微電子量產的曝光機，包括前道製造、浸沒式微影機「SSA」、「SSX」、「SSB」等系列。

　從採購方式看，公告中的「單一來源採購」或表示該項目的先進性。根據大陸「政府採購法」，「單一來源採購」的情況，僅被允許在因貨物或服務使用了不可替代的專利、專有技術，或者公共服務項目有特殊要求，導致只能從某一特定供應商處採購，包括不可預見的緊急情況、招標失敗等情況。

　從金額來看，上海微電子約1.1億元的得標金額，與過去大量曝光機相關招標，總計百萬或小千萬等級的中標金額有較大差距。

　其他大陸曝光機進展方面，今年以來，哈爾濱工業大學成功研發13.5奈米極紫外曝光光源，中科院上海光機所的深紫外光源系統提升製程極限至3奈米理論值。種種跡象顯示，大陸在曝光機領域正獲得突破性進展。

　不過相較艾司摩爾（ASML）DUV和EUV曝光機的價格分別在5億元和10億元以上，上海微電子的產品仍相對便宜。

　該中標消息也刺激大陸曝光機概念股集體上漲。25日午後，國風新材直線漲停，華軟科技、華融化學、高盟新材、張江高科等漲逾4％。