3M比利時半導體冷卻劑廠，遭無限期關閉… 台積、聯電、世界：有備案，免驚

　消費性、工業製品大廠3M在比利時工廠使用涉及PFAS（全氟烷基和多氟烷基物質）的半導體冷卻劑及其他部分產品暫時停產，外媒報導更指出，該工廠供應的冷卻劑需求占全球總產量約八成，雖然一般晶圓廠都會準備1～3個月庫存，但若停工狀況未變，將會影響台積電、三星、SK海力士及英特爾等半導體晶圓製造，惟台積電、聯電、世界先進強調，手中已有備案，目前「免驚」。

　外媒報導指出，3M在比利時工廠使用涉及PFAS的半導體冷卻劑及部分產品，遭到當地政府法規影響，PFAS產線已經被無限期關閉，該措施自3月8日開始執行，3M已經在3月18日向客戶發出正式通知，據傳客戶群包含台積電、三星、SK海力士及英特爾等全球半導體大廠。

　據悉半導體冷卻劑主要用在半導體晶圓製造的蝕刻製程當中，並具有高純化的含氟電子化學品，可應用在乾式或濕式製程當中，不論先進製程或成熟製程，都需要用到半導體冷卻劑，國內晶圓製造大廠舉凡台積電、聯電及世界先進等相關廠商都需用到。

　外媒表示，3M在比利時的冷卻劑工廠供應全球總產量大約八成，若該產線停產將會影響半導體製造。對於，半導體冷卻劑供應可能受阻影響，台灣晶圓製造大廠普遍對此表達有替代方案，不會影響到晶圓製造。

　台積電表示，公司與供應鏈緊密合作，目前不預期會造成影響；聯電亦對此指出，公司具有替代方案，因此沒有影響；世界先進指出，公司具有多方供應來源，且有庫存應對，影響層面不大。

　供應鏈指出，台積電在半導體製造供應鏈當中，不論是乾式、濕式等製程使用的化學氣體、液體，供應商除了歐洲之外，日本、韓國等地亦有，且在台灣生產供應鏈庫存至少都有數月，不受本事件衝擊。

　事實上，除本次半導體冷卻劑事件，先前半導體使用的高純化稀有氣體氖氣，由於主要生產國在烏克蘭，受烏俄戰爭影響，供應量也同步受阻，雖晶圓製造大廠都已將庫存拉高至6個月，但半導體製造供應鏈布局全球化，難免還是會受到單一事件或單一地區的影響。