史陶比爾 推半導體智慧移載方案

　目前全球電子業與半導體自動化的趨勢方興未艾，在智慧移載的範疇中可以看到半導體產業許多不同功能的機器人如OHT/無人搬運車（AGV）/自主移動機器人（AMR）/四軸六軸機器人/Wafer robot，而身為智慧移載先驅的史陶比爾更為半導體與電子業提供了絕佳移載方案。

半導體行業尤其以搬送光罩/晶圓與晶圓盒（Foup）來說，對於手臂本身的潔淨度和運動軌跡柔順不能頓挫等皆採非常高之要求，因應產能最大化手臂的移動速度，客戶也希望能夠加快增加生產節拍，24小時不停機更為常態。

　史陶比爾在半導體耕耘25年，為了使史陶比爾機器人能提供業界最高的精度、速度與無抖動的圓滑運動曲線與超群的耐用穩定性，史陶比爾研發獨步全球的專利JCM減速機，使其精度、速度與運動曲線能大幅度領先同業；並將減速機密封油浴在液態潤滑油中，大幅度的延長保養週期與耐用性。

SUSS MicroTecLithography GmbH提供全系列光阻塗布機及顯影機產品。該公司同時非常重視晶圓之搬運傳輸，設備整體搬運效果快速、精準、可靠，百萬分之幾的破片率幾乎可忽略不計，贏得全球客戶青睞。

SUSS MicroTec這款ACS300 Gen2塗布及顯影系統，主要應用領域包括先進塗佈製程、晶圓級封裝應用和3D整合技術。設備內潔淨度要求達ISO Class 2，所有晶圓搬運傳輸工作，均由史陶比爾TX60L CR完成。

SUSS選擇史陶比爾六軸機器人整合到創新的ACS300 Gen2 系列設備絕非偶然，經評比現有機器人尋求工作範圍、速度、精度和可靠性的最佳組合，唯有最好的機器人才能脫穎而出。

此外，為了彌補OHT（Overhead Hoist Transport）無法涵蓋工廠所有的運送範圍或特定的運用場合，半導體正大舉導入自主移動機器人（AMR）與無人搬運車（AGV），來強化整體產線的自動化程度。

史陶比爾集團為了強化在智慧移載領域的領導地位，除了發表本身的自主移動機器人產品HelMo，更於近年將德國著名的無人搬運車生產廠商WFT GmbH併入成為史陶比爾家族一員。

HelMo移動式機器人系統，是專為人機協作研發的自主驅動和導航小車。三台內建的雷射掃描器持續監測環境，確保精確的導航和安全性。在人機協作強調安全功能的同時，其具備的安全速度、安全停止、安全區域與完善的安全工具來保障工作人員，同時維持產能。

得益於系統的模組化和強勁的驅動技術，HelMo適用於絕大多數之工業應用，如補給供應、物料更換、裝配或品質控制等。HelMo系統甚至可在工作中利用短暫的停駐，自主連接充電樁進行充電。目前有半導體客戶預計使用HelMo自動派工，並進行模具之除鏽與清潔。