傳限制光阻劑出口 日出招反制…陸晶片陷危機

　中日關係因日本首相高市早苗11月初的「台灣有事論」持續緊繃，在中國禁止中國民眾到日本旅遊及水產品進口後，傳出日本也做出反制，限制晶圓製造所需的光阻劑（中國稱光刻膠）出口到中國，引發中國半導體生產危機。

　日本目前控制全球逾70％的光阻劑市場，用在極紫外光（EUV）光刻技術的高端光阻劑，市占率更高達95％，連美國與韓國晶片巨頭也依賴日本製光阻劑。

　對中國來說，目前用於製造110至180奈米（nm）晶片的氪氟（KrF）深紫外光（DUV）光阻劑，中國只能自供5％。而用於製造7至65奈米晶片的氟化氬（ArF）DUV光阻劑，幾乎完全依賴日本供應。

　11月中旬左右起，市場有多個傳言指日本停止供應光阻劑給中國。綜合Asia Times等外媒報導，掌握全球8成市占率的信越化學與東京應化，暫停向部分中國高階晶圓廠供應ArF光阻劑。

　此舉被業界認為日本採取了「精準打擊」，因為不同於硬體設備，高階光阻劑保存期限僅3至6個月，極難囤貨，如果不能獲得光阻劑等原材料，中芯國際與華虹半導體等中國大型晶圓廠的先進工藝產線可能會被迫縮減產量，甚至可能在一個月內完全停產。之前在2021年，信越化學因生產限制暫停向中國供貨時，中芯國際的效率一度下降兩成。

　不過也有消息說，是市場謠言與供應鏈調整的混淆。上述傳聞源於信越化學因KrF光阻劑產能受限，而對中國中小晶圓廠限供，日本官方並未推出禁令。

　另有傳聞說，日本佳能（Canon）、Nikon和三菱化學已暫停出貨光阻劑給中國。不過該消息馬上被否認，指佳能和Nikon主要生產曝光機和零件，而三菱化學生產的是光阻劑的原材料，這些傳聞應是由中國股市投機者所散播。

　面對可能的制裁，中國也有相關布局。例如中國已推動3項措施來加強光阻劑的自主能力，包括10月推出中國首個EUV光阻劑測試標準，提供更清晰的技術框架、指導大基金二期優先投資光阻劑等核心材料，以及要求國內晶圓廠優先採購合格的本土產品。中國的目標是，在2026年實現40％所需的光阻劑自給自主。