英特爾Fab 52投入18A量產

　英特爾（Intel）正式揭開亞利桑那州Fab廠神秘面紗，宣示將成為美國先進晶片製造的關鍵推手。其中，位於錢德勒市Ocotillo園區的Fab 52已導入4台荷商艾司摩爾（ASML）極紫外光（EUV）微影設備，並預留兩座再擴充空間，未來可依客戶需求隨時「上膛」擴產。現階段Fab 52已投入Intel 18A最新處理器的量產。

　英特爾執行長陳立武近期親赴亞利桑那視察，外界解讀，憑藉他與全球晶片大廠的良好關係，英特爾有望吸引更多外部客戶代工，重塑全球晶圓製造版圖。

　Ocotillo園區是英特爾經營超過45年的重鎮，從早期的Fab 12到2021年動土的Fab 52，累計投資已超過500億美元。實地走入量產中的Fab 52，可見頭頂的OHT（自動天車）系統高速運轉，生產下一代Panther Lake與Clearwater Forest晶片。最醒目的是三層樓高的第三代EUV設備，為容納這「生產巨獸」，廠房特別加高設計。

　據設備業者透露，該EUV機台每小時產能（WPH）約為195片晶圓，後續可提升至220片。Intel 18A月產能預估將於年底起以每月1,000至5,000片速度拉升（ramp-up），2026年上看1萬至1.5萬片，2027年後可達3萬片水準，並預留再添兩台EUV的空間。

　據了解，完成前段製程的晶圓，將送往新墨西哥州封裝廠進行後段製程，實現「全美製造（Made in USA）」的晶片生產鏈。