穩頂聚芯 首台高精度曝光機出廠

　大陸半導體設備在地化再傳新進展。深圳新創公司穩頂聚芯近日宣布，其自主研發的首台陸產高精度步進式（Stepper）曝光機已順利出廠，主要鎖定化合物半導體領域，為大陸在成熟製程設備的發展增添生力軍。

　陸媒芯智訊報導，穩頂聚芯是一家成立於2023年5月的新創公司，註冊地位於深圳南山區，註冊資本額約人民幣（下同）119萬元，專注於半導體核心製程設備的研發與製造。該公司在深圳擁有超過2,000平方公尺的研發及生產廠房，目標市場涵蓋功率元件、光電元件、微機電系統（MEMS）等半導體及泛半導體製造領域。

　根據該公司在官方社群平台揭露的資訊顯示，此次出廠的曝光機為WS180i系列，可處理2吋至8吋的晶圓，解析度範圍在1.5微米至0.35微米之間。

　該設備主要應用於Mini／Micro LED光電元件、光學晶片及功率元件等化合物半導體製程，並能因應矽晶圓、藍寶石、碳化矽（SiC）等不同基板的曝光製程需求。