工研院聯手東捷、群創 攻先進封測

　工研院舉辦先進雷射製造與數位轉型應用研討會暨成果發表，並宣布與東捷、群創三方技術合作，於工研院建立玻璃通孔（TGV）製程驗證系統，利用東捷、群創合作開發之光彈檢測系統，輔以超快雷射後定量分析的強健性與可靠性驗證，投入半導體大廠封裝測試，助面板級扇出型封裝（FOPLP）後續產能提升。

　工研院發表「高深寬比玻璃載板雷鑽暨金屬化技術」，擁有目前業界兼具最高的深寬比與真圓度能力，並大幅提升雷射鑽孔玻璃基板加工速度。

　玻璃基板具有高平坦度、高耐溫、低熱膨脹係數等優異特性，有效提升高階晶片產品的整體效能和可靠度，帶動TGV封裝技術市場需求。根據TGV基板市場報告指出，2023年全球TGV基板市場規模達到1.01億美元，預計到2030年將增長至4.24億美元，2024年至2030年的年複合增長率為22％。隨著對小型化、高性能電子設備需求的增加，市場未來將持續擴大。

　工研院南分院執行長曹芳海指出，搭載精密細微電路的玻璃載板，是下世代的關鍵元件之一，工研院研發以超快雷射取代傳統雷射製程技術，透過一次性的雷射脈衝，使TGV的鑽孔殘留應力與微裂紋大幅降低，並使孔徑縮小至7.9微米，平均真圓度高於90％，TGV深寬比最高達25，領先業界，可實現更高的電晶體密度及效能。