image
20240828文/周榮發

微影半導體、中勤實業 獲准進駐南部科學園區

 國家科學及技術委員會日前會議通過核准微影半導體、中勤實業於南部科學園區設立;南科管理局轄下有臺南園區、高雄園區、橋頭園區、嘉義園區、楠梓園區及屏東園區等6個園區,今(113)年截至8月20日止,總計引進11家廠商,累計投資金額約新臺幣235億元,園區有效核准廠商家數為276家。

該管理局表示,微影半導體申請於臺南園區投資設立,主要研發生產半導體曝光機、塗佈顯影機及檢測設備;微影半導體採用LED光源及投影鏡頭,可達成0.35微米曝光精度,1:10高焦深,且有節能環保及高性價比等特色,未來進駐臺南園區後,有助於未來國內半導體設備產業國產化之發展。

中勤實業申請於高雄園區投資設立分公司,研發生產半導體及光電產業晶圓用載具、電子及其他高科技產業用載具、晶圓載具智能傳輸設備及晶圓載具清洗循環服務,進駐高雄園區後,將擴大載具高分子塑膠材料與智能傳輸設備之研發量能,以高效塑膠材料及生質油萃取相關技術,提供創新及友善環境之高潔淨材料載具,帶動臺灣綠色循環經濟發展及產業創新轉型,未來進駐高雄園區後,有助於國內半導體材料與設備在地化,同時強化南科半導體產業聚落,並提升臺灣全球關鍵地位。