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20240628張瑞益、張珈睿/台北—日本連線報導

台積EUV大舉拉貨 供應鏈樂

2奈米先進製程量產關鍵!今明兩年共將交付超過60台,總投資估逾4,000億

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圖/本報資料照片
台積電台灣先進製程工廠進度

 台積電2奈米先進製程產能將於2025年量產,設備廠正如火如荼交機,尤以先進製程所用之EUV(極紫外光曝光機)至為關鍵,今明兩年共將交付超過60台EUV,總投資金額上看超過4,000億元。在產能持續擴充之下,ASML2025年交付數量成長將超過3成,台廠供應鏈沾光,其中家登積極與ASML攜手投入次世代High-NA EUV研發,另外帆宣、意德士、公準、京鼎及翔名等有望同步受惠。

 設備業者透露,EUV機台供應吃緊,交期長達16至20個月,因此2024年訂單大部分會於後年開始交付;據法人估計,今年台積電EUV訂單達30台、明年35台,不過會因為資本支出進行微幅調整。而除了研發中心之外,High-NA EUV明後年尚無量產設備規劃。

 ASML因應客戶需求,於去年規劃新產能,明年交付數量成長性明確。今年預估總交付數量達53台,而明年預計達到72台以上。

 供應鏈指出,ASML對2025年度產能規劃,EUV 90台、DUV 600台、High-NA EUV 20台目標並未改變,今年11月14將舉行2024 Investor Day,將對下個五年提出最新藍圖。

 台積電先進製程產能逐漸開出,以3奈米台南廠來說,第三季將進入量產,明年P8廠也會有EUV機台陸續導入,新竹寶山2奈米在接續三年EUV拉貨動能強勁、高雄2奈米也同步進行。

 供應鏈同時透露,台積美國P1A工程追加款項有望第三季到位,且該廠區已進入建設尾聲,加上台積在國內外其餘廠區建設需求,如新竹寶山、日本熊本、高雄楠梓及封測廠等、CSP資料中心建置需求,設備需求不看淡。

 更多的EUV機台,帶動EUV光罩盒使用量同步成長,法人認為,家登將為其中最受惠業者,FOUP(前開式晶圓傳送盒)持續搶攻市占率,相較競爭對手,家登自建熱風抽氣環境,將塑膠粒或是汙染粒子排除,直接送至客戶廠區即可上機;同時,ASML High-NA EUV家登也投入合作研發。

 生產環境比造大廠無塵室打造,家登有信心提供客戶更佳產品品質及服務,伴隨後下半年產能持續開出,明年將逐步趕上客戶需求,帶動營運成長。