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20230522邱琮皓/台北報導

艾司摩爾A+申請案 最快5月底拍板

 半導體大廠艾司摩爾(ASML)去年宣布在台擴大投資、預計將歐洲供應鏈落地台灣,原訂在4月底會完成申請「A+企業創新研發淬鍊計畫」,據了解,因審查委員在最後一次會議上仍希望業者盡可能提高國產自製率、因此略有延宕,預估補助案下周將進行最後書面審查,最快在5月底會正式拍板。

 艾司摩爾去年宣布在台灣擴大投資,預計落腳新北市林口工業區,同時,艾司摩爾針對2奈米晶圓光學量測設備,也向經濟部申請「A+企業創新研發淬鍊計畫」引發關注。經濟部官員表示,台灣現有供應鏈已具備深紫外光(DUV)設備中的光罩傳輸模組製造能力,艾司摩爾這次計劃案中包含晶圓傳輸模組,盼藉此導入本土供應鏈,審查重點將在如何提升本土技術、國產自製率。

 艾司摩爾申請案已完成第二階段實質審查與決審會議,只是在決審會議上專家學者仍有建議,因此仍在補件審查階段。官員轉述,會議上有委員提到,是不是艾司摩爾在帶動本土供應鏈技術的同時,可以讓相關供應鏈可以進一步獲得更多國際認證、將專業技術與國際接軌。

 經濟部「A+企業創新研發淬鍊計畫」補助企業投入創新研發和前瞻產業技術開發,每年預算約新台幣20億元。