總統蔡英文17日在臉書發文「世界半導體產業重要廠商，艾司摩爾公司（ASML）明年即將動土的投資案，將是該公司有史以來在台灣最大投資金額。」對此，ASML16日呼應蔡總統說法，證實投資地點落腳在新北市。據悉，落腳地點在林口靠近桃園的生產基地，至於投資金額比艾司摩爾向經濟部申請A+企業創新研發淬鍊計畫投資額的77億元還高，不排除上看百億。
行政院副院長沈榮津15日在陪同總統接見艾司摩爾時就透露說，感謝艾司摩爾持續投資台灣，明年7月即將動工的北部投資案，將是ASML有史以來在台灣最大投資金額。台灣的半導體產業與艾司摩爾的合作，將讓全球供應鏈更強韌、更繁榮。
據指出，艾司摩爾不希望經部透露落腳在新北投資的規模及地點，從土地取得，都市計畫，廠房進駐時程，及土方運送台北港等處理方式，所有涉及跨部會的協助，都由沈榮津一手包辦居間協調。其加碼開發新園區土地為國產署所有。
據側面了解，艾司摩爾明年加碼投資金額比現在已在台灣投資，申請經濟部A+計畫投資額77億元還高，但會分階段投入，不是一次到位，未來不排除上看有百億元左右，顯示依舊看好台灣半導體產業發展。
據了解，艾司摩爾早已選定在新北市林口工一市地重劃區進行投資，該區總占地約108公頃、產業專用區約67公頃，未來將打造成高科技產業聚落。且新北市今年6月的時候，就已確認艾司摩爾會進駐，規劃擴建光罩傳輸模組、YieldStar光學量測設備、機台翻修等產能，但極紫外光（EUV）及深紫外光（DUV）等曝光機設備仍不會在台生產。
艾司摩爾2003年在新竹成立台灣總部辦公室，在林口、新竹、台中、台南設有客戶支援辦公室，並於林口和台南設有工廠。其中，林口廠負責機台翻修、光罩傳輸模組、YieldStar光學量測等設備生產，台南廠以電子束和多光束檢測設備生產為主。