科毅黃光製程設備 大廠青睞

　文╱江富滿

　定位為黃光製程設備及材料專家、半導體暨光電設備製造商的科毅科技，擁有創新及小型化之優勢，設備具有高性價比、高效能、高精度及自動化等特性，獲得半導體先進封裝、主被動元件、觸控面板、光電顯示器、背光模組、太陽能、LED等產業指定採用。

　該公司表示，科毅除能提供專業的黃光設備〔清洗、塗佈、曝光（光刻）、顯影、蝕刻機台、玻璃光罩設計…等新／中古設備〕，更可提供客戶潔淨且完善的黃光實驗室，並經由專業團隊的研發與實驗，推出符合客戶需求的客製化黃光機台設備。

　科毅科技今年將陸續推出一系列先進設備，包括：1、風刀式奈米級光罩除塵機（MCS）：能有效降低落塵數，取代傳統沖洗流程，延長光罩壽限，減省製造成本及時間，應用於3～5奈米EUV Reticle，同時兼容DUV Reticle。2、無光罩雷射直寫曝光機（LDI）：減少光罩使用，降低成本，適用少量多樣產業，提供半導體封裝客戶需求。3、新型UV LED曝光頭：增進圖形、線條精準度及準直性，具有省電、省耗材、省工時、壽命長等特色。4、超薄型石英晶圓（塗佈、UV曝光機、顯影、光阻烘烤）全自動設備，應用於晶體振盪器市場。5、專利矩形循邊晶背清洗機、晶圓翹區整平平台、深溝顯影補助風刀等機構導入半導體封裝產業之顯影擴展。6、模組化半自動曝光機：低成本、高利潤，有利於大量標準化生產。

　該公司指出，科毅目前主要客戶遍及國內上市櫃大廠包括日月光、聯穎光電、友達光電、群創光電、中強光電、崇浩光電、台灣晶技、台灣光罩、台灣生捷、奇美電子／實業及中研院、工研院、台大、清華、陽明交通…等學術研究機構，在疫情趨緩，國際貿易恢復正常商業活動後，將進軍中國及東南亞市場，持續擴大市場占有率。