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20210623文/李其芳

明遠強攻半導體電源電漿系統

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 ●明遠精密科技總經理盧俊宏。圖/業者提供

 2020年台灣半導體產業於疫情中逆勢成長,達20.7%的高成長率,總產值躍升全球第二。因應 5G、Data Center、HPC、AI等應用日趨普及,2021-2024年半導體產業將持續快速成長,也為半導體全球供應鏈帶來重組的契機。

 明遠精密科技總經理盧俊宏表示:「未來3~4年是台灣半導體供應鏈全球化最好的機會,除了台灣是半導體代工重鎮外,日本、美國和其他半導體設備大廠都思考將供應鏈往台灣挪移,包括將部分成熟的設備組裝生產線移往台灣,主要考量為台灣成熟且可信賴的技術及代工市場客戶的就近服務。明遠是目前台灣唯一在射頻電源、電漿源、臭氧產生器及微波源等關鍵子系統,具有研發自製及商品化能力的供應商,這些正是半導體設備供應鏈必備的重要條件。」

 明遠於2018年底推出與日本技術合作開發的新款射頻電源供應器,2019年即成功打入重要半導體代工大廠供應鏈,此單一產品助攻明遠營收連續兩年超過30%的成長。明遠於今年推出研發自製的臭氧產生器,成功從國際大廠唯一臭氧產生器策略維修供應商,提升為臭氧產生器自主品牌的研發生產製造商。第一款新品將應用在ALD製程,亦計畫陸續推出應用於TEOS CVD或TFT臭氧水等高端機款。

 接續臭氧產生器,明遠新款電漿源已通過經濟部A+專案功能驗證,將於未來1-2年實現商品化。同步半導體關鍵子系統開發,明遠也參與母公司日揚集團第三類化合物半導體設備開發計畫;此外,明遠亦掌握電動車市場成長商機,積極布局。

 明遠精密於新產品計畫及全球市場供應鏈規劃完善,針對半導體先進製程之需求亦做到超前部署,具高度成長潛力,未來營運可望更上層樓。