大永真空 自主開發濺鍍光學製程

大永真空設備近年來積極拓展學研界，不斷搜尋具共識之合作夥伴與前端發展話題性之技術，投入於許多研發題目，除了已有研發成果的ICP反應源，更包含了曲面鍍膜、電漿模擬、電漿監控等；對該公司自主開發濺鍍光學製程之特點及相關研發能量，以下為大永研發部課長詹子厚訪談記要：

問：大永自主開發的濺鍍光學製程之特點？

　答：濺鍍的分子動能較蒸鍍高，雖然多層膜間應力大，但原子間會靠得比較緊密，也就是膜質比較好。且濺鍍鍍率天生較蒸鍍穩定，在製作一些大眾的光學薄膜時，可以不用其他系統輔助，讓濺鍍設備操作上相對簡單。

大永自主開發的濺鍍光學製程「二階段式反應濺鍍法」，原理是將傳統的反應性濺鍍分成二個階段，第一階段是金屬濺鍍區，不在靶材表面通反應性氣體，單純濺鍍靶材，等薄膜轉到第二階段的反應區，才通入反應性氣體，讓上面的材料反應成我們要的光學薄膜。因此，有效降低放電頻率，提高整體膜質，有系統地改善反應性濺鍍之缺點，又同時保留濺鍍本身的優點，進而大幅提高濺鍍光學生產之價值。

問：大永在濺鍍設備製程領域蓄積之研發能量？

　答：近年來大永發現原有的主力產品市場已趨飽和必須往外拓展，因而積極地往學研界發展，過程中接觸到許多新的觀點與市場動態，進而發現光學是個非常具潛力的市場。

在目標與資源確認之後，我們就朝著二階段式反應濺鍍法去開發，而這製程最關鍵的技術在於反應源如何建立與設計。我們和學校教授、學生、員工一同從原理開始搜尋、閱讀、設計、組裝、測試，一路從無到有成功地完成有效的反應源，並且以此鍍製出讓客戶感興趣的樣品，讓兩階段式反應濺鍍法成為在台灣本土被實現的製程技術，布局學研界是非常關鍵的一環，加上謀定而後動的果斷執行力，才能讓大永在濺鍍設備製程領域發展快速。

問：對濺鍍製程應用領域之看法？

　答：不管蒸鍍或濺鍍，皆有其適合與不適合的製程領域。近年來，受惠於一個知名品牌興起：特斯拉，將自駕車的市場帶了起來，自駕車會有很多非平面的素材，如：車載鏡頭、車用面板等相關需求陸續出現，而這些零件的環境測試更加被要求，如何鍍在曲面的凹處與達到高規格的環境測試，都與分子動能有極大相關性，以濺鍍為製程較為容易。

而且，濺鍍的鍍率較蒸鍍穩定，少了許多輔助系統，可減少操作設備之人力需求，因而能夠導入自動化的設計，意味著光學領域業者有機會引入工業4.0。

另外，二階段式反應性濺鍍的設備，國外已開發出並有許多實績，然而客戶的需求其實多樣，大永公司相當願意為客戶量身打造其需求的規格，且價格合理，期能推廣濺鍍設備之使用，藉此提升台灣光學產業整體競爭力。

問：未來展望？

　答：我們希望能夠專注於電漿領域，成為國內頂尖的電漿應用公司，甚至進一步導入智慧監控，不只提供客戶完整之塗層、設備Solution，更能為客戶帶來自動化工廠建置的門票，為台灣工業4.0之進程盡一份心力。