晶圓製程提升 信紘科吃補丸

　半導體5奈米以下先進晶圓製程及先進封裝晶圓凸塊製程的生產過程中，清洗程序開始採用將不同氣體溶入水中的機能水，用來取代高污染的化學品，特別是先進製程無法使用酸性機能水，未來主流將轉為採用鹼性氨氣機能水。信紘科（6667）以氣液相混和技術擴大機能水布局有成，今、明兩年大單在握且營運持續看旺。

　信紘科去年合併營收12.96億元，較前年成長4.1％並創歷史新高，平均毛利率年增4.3個百分點達18.5％，營業利益0.51億元，較前年成長2.9倍，歸屬母公司稅後淨利0.74億元，與前年相較成長83.59％，每股淨利2.04元。信紘科董事會決議每普通股擬配發1.66元現金股利，股息配發率達81％，以26日股價收盤價65.5元計算，現金殖利率達2.5％。

　信紘科今年前二個月合併營收2.35億元，與去年同期相較成長7.3％。信紘科對第一季維持樂觀展望，依目前在手訂單來看，包括廠務供應系統整合、製程特殊廢液回收、拆移機服務工程收入等三大業務接單強勁，信紘科自主開發的製程機能水新設備已成功取得晶圓代工大廠Golden認證，隨著主要客戶需求增加，整體營運將更上一層樓。

　信紘科近年來積極搶攻製程機能水設備市場，以氣液相混和技術擴大機能水布局，自行開發利用Pump輪葉或隔膜將氣體高效分散並溶入水中技術，大幅提高氣體溶解效率，並開發出不同用途機能水，包括用於晶圓表面污染物的清洗的臭氧水、用於晶圓表面清洗的碳酸機能水及氨氣機能水等。

　半導體製程過去都是利用化學品進行清洗，但隨著環保意識抬頭，半導體廠大量進行綠色製程轉換，信紘科積極卡位綠色製程業務，已協助晶圓代工龍頭大廠處理製程中廢液再純化回收成次電子級化學品，再轉售給其它客戶，而信紘科過去以廢液處理設備銷售為主，但未來將轉為代工，自建廠房為客戶處理廢液並收取處理服務費。

　再者，過去製程中清洗程序主要以化學品為主，但未來趨勢將轉為採用機能水以降低對環境污染。過去成熟製程中的清洗程序較常使用溶入二氧化碳的碳酸水，但5奈米以下先進製程無法使用酸性機能水，已開始轉為採用鹼性的氨氣機能水，而支援細間距的晶圓凸塊製程也會導入採用。

　信紘科與晶圓代工龍頭合作，氨氣機能水方案已導入測試，預期今、明兩年將可量產出貨並明顯挹注營收。