關鍵半導體設備 美仍未放行給中芯

大陸晶圓代工龍頭中芯國際前景仍撲朔迷離，雖然日前陸續傳出美國政府允許部份企業供貨中芯，但知情人士透露，美國政府仍卡住如應用材料、科林（Lam Research）等關鍵半導體設備廠的許可，嚴格防範中芯國際發展先進製程。

近日市場頻傳中芯國際獲得美國放行生產成熟製程產品，3日中芯也宣布延長與艾司摩爾設備的採購協議，為企業注入強心針，但在晶片短缺的背景下，美國卻仍未完全鬆手。

　路透4日引述知情人士說法稱，在中芯國際被列入實體清單後，確實有許多美企立即獲得許可證供貨給中芯，但關鍵的是，仍有規模約50億美元的美國零組件尚未得到批准，當中就包含應用材料、泛林等關鍵設備廠。

此前川普政府因涉及中國軍方企業的疑慮，將中芯國際列入實體清單，此次也罕見地對於中芯國際的許可證申請採取逐案審查，並且一概拒絕涉及10奈米以下的先進製程產品。

外界原本觀望拜登政府上台後會否放行中芯國際，但如今仍有部分許可證的下放仍未批准。知情人士稱，許可證是否涉及10奈米技術方面可能是當中重點，官員詢問美企產品會否被轉用至這些先進製程，這項來回詢問的程序，使許多美企申請的許可證一再被延後、擱置甚至延長審查期限。

　報導引述科林發言人說法表示，公司仍在申請許可中，尚未收到回應。另外包括Entegris、KLA Corp、Axcelis Technologies等企業也都遞交許可申請，但尚未得到美國商務部的回應。