捷毅水滴角量測儀 可自設參數

　半導體晶圓產出時如何測量其表面潔淨度？答案是利用水滴角原理，由於粉塵粒子普遍具有聚水性，水滴落在晶圓時，計算其灘度，若水滴邊解與晶圓角度越大，則晶圓表面粗糙，反之則越潔淨光滑。同樣利用水滴原理也可量測表面濕潤度，表面能量的多寡取決於載體表面濕潤程度，特別是高分子材料表面的濕潤程度，關聯到多種材料界面接著的難易，以水滴原理來量測，表面濕潤度高的，因其有親水性，灘度大，故其與水滴接觸角度小，反之，則載體表面的疏水性，則水滴角度大。

　水滴角量測儀已是目前半導體晶圓廠必備量測儀之一，過去量測儀只能以X軸、Y軸上下平行量測，捷毅系統則將其改良，專為八吋及十二吋晶圓使用，使晶圓能在表面上任何一點進行量測，水滴大小為程式控制，並自行進行參考點選取，避免人為操作產生差異，平台上以真空輔助可固定待測物，並能自行設定參數及圖像控制，報表輸出等客製化需求。